1、源流一：源于姬姓，为春秋时期鲁惠公之子姬尾生之后，属于以先祖名字为氏。据史籍《通志·氏族略》、《元和姓纂》等记载，春秋时期，鲁惠公姬弗涅之子中有个姬尾生，字施父，史称施父尾。在鲁桓公姬轨(姬允)执政时期(公元前711年～前694年)，姬尾生成为鲁国的大夫。据说，姬尾生精通音律，曾视来访的曹国太子赏乐姿态之变化，断言其父曹伯将不久于人世，后来果然应验。鲁桓公深敬姬尾生之才，委以重用，施父后成为春秋名臣。后传到其五世孙姬孝叔之时，干脆以先祖名字为姓氏，称少施氏、亦称施父氏，以示与别的家族不同，后省文简化为单姓施氏，世代相传，史称施氏正宗。
2、源流二：源于妫姓，出自夏王朝时期诸侯国施国，属于以国名为氏。据史籍《姓氏考略》记载，夏王朝时期诸侯中有施氏，建施氏国，其故址在湖北省恩施县一带。
3、商汤灭夏桀之后，施氏国亦随之灭亡，其后，施氏国的公族子孙就以故国名为姓氏，称施氏，世代相传，是非常古老的姓氏之一。
4、源流三：出自殷商时期七族之一的施氏，属于以氏族名称为氏。据史籍《左传》记载，西周初期，周武王姬发之弟姬康叔受封为卫侯，分到了“殷民七族”即陶氏、施氏、繁氏(邽氏)、锜氏、饥氏、樊氏和终葵氏等。殷商施氏，在商王朝时期为专职制旌旗的工匠，古称“旌、旗、帜”为“施”，其族人子弟后代即以职业为氏族称谓，世代称施氏。
5、源流四：源于方姓，出自明朝初期大儒方孝孺同族，属于避难改姓为氏。据史籍《姓氏词典》记载：方氏系为改姓。明朝大儒方孝孺被明成祖朱棣杀害后，其同姓族人纷纷外逃，以避株连，因而有改称施氏者。“施”字，拆开为“方人也”，因而也有为方氏者。
6、源流五：出自他族改姓。如云南白族以海螺为图腾的氏族，汉姓为施；明、清时云南土司有施姓；世居沈阳之满洲人有此姓；今京、彝、苗、蒙古、羌、傣、怒、纳西、僳等族有此姓。
7、源流六：源于赫哲族，出自明、清时期赫哲族富勒哈氏族，属于以氏族名称汉化为氏。据史籍《清朝通志·氏族略·满洲八旗姓》记载：赫哲族富勒哈氏，亦称富尔哈氏、富勒察氏、富勒洪阿氏、富勒瑚氏，赫哲语为“布施”之义，世居佛阿拉。后有满族引为姓氏者，满语为Fulha Hala，汉义“杨树”。赫哲族、满族富勒哈氏，在清朝晚期以后多冠汉姓为施氏、杨氏、付氏、傅氏、富氏等。
8、源流七：源于蒙古族，出自明朝时期蒙古族艾耀施部，属于以部落名称汉化为氏。据史籍《清朝通志·氏族略·蒙古八旗姓》记载：蒙古族艾耀施氏，世居科尔沁。后有满族引为姓氏者，满语为Aiyos Hala。蒙古族、满族艾耀施氏，在清末民国初期，多冠汉姓为施氏、艾氏、石氏者。
9、源流八：源于白族，出自明朝时期白族施氏族，属于以图腾信仰汉化为氏。云南省大理地区的白族中，有世代以海螺为氏族图腾的部落，元朝中期即以海螺图形取近似的汉字“施”为姓氏，称施氏。到明、清两朝时期，云南土司即为该氏族。
10、源流九：出自其他各少数民族，属于汉化改姓为氏。今京族、彝族、苗族、羌族、傣族、怒族、纳西族、僳僳族等少数民族中，均有施氏族人分布，其来源大多是在唐、宋、元、明、清时期中央政府推行的羁糜政策及改土归流运动中，流改为汉姓施氏，世代相传。